(주)테스코리아 HPU(Haze Prevent Unit)는 LCD 제조공정에서 노광기 및
주변노광장치로 공급되는 외부공기를 별도의 공정장비를 이용하여 공기중의 화학 오염 물질인
NH3, SO3, SOx, NOx, TOC 및 유해가스를 제거, Clean Air를 노광기내로 공급해주는 System 입니다.

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• ITEM	SPEC
  System Unit	Chemical Filter Unit / Duct Line / CMS
  Glass Size	~Gen.10
  Target Gas	Acid , Alkali , VOCs
  Initial Removal Efficiency	>90%
  Temperature Range	20℃ ~ 25℃
  Class	≤ 10ea/ft3 (0.3㎛)